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機(jī)械強(qiáng)度最高的氮化鋁陶瓷材料
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陶瓷與金屬的連接方法比較多,如釬焊、擴(kuò)散焊、熔焊及氧化物玻璃焊料連接法等,其中釬焊法是獲得高強(qiáng)度陶瓷與金屬接頭的主要方法之一。釬焊法又分為金屬化工藝法(活化Mo -Mn 法)和活性釬料法。
采用與陶瓷線(xiàn)膨脹系數(shù)相近的可伐材料或無(wú)氧銅件與金屬化后的陶瓷件通過(guò)釬焊實(shí)現(xiàn)陶瓷-金屬封接,該封接件可與不銹鋼進(jìn)行氬弧焊焊接,從而實(shí)現(xiàn)陶瓷件與金屬結(jié)構(gòu)件的氣密性連接。
氮化鋁具有電絕緣性和優(yōu)異的導(dǎo)熱性,對(duì)于需散熱的應(yīng)用而言,它是理想之選。此外,由于其熱膨脹系數(shù)接近硅,且具有優(yōu)異的等離子體抗性,可被用于制造半導(dǎo)體加工設(shè)備部件。
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